環(huán)境掃描電鏡是指掃描電子顯微鏡的一個重要分支,環(huán)境掃描電子顯微鏡除了像普通掃描電鏡的樣品室和鏡筒內(nèi)設(shè)為高真空,檢驗導(dǎo)電導(dǎo)熱或經(jīng)導(dǎo)電處理的干燥固體樣品以外,還可以作為低真空掃描電鏡直接檢測非導(dǎo)電導(dǎo)熱樣品,無需進行處理,但是低真空狀態(tài)下只能獲得背散射電子像。
環(huán)境掃描電鏡樣品室內(nèi)的氣壓可大于水在常溫下的飽和蒸氣壓,環(huán)境掃描電鏡可以對各種固體和液體樣品進行形態(tài)觀察和元素定性定量分析,對部分溶液進行相變過程觀察。對于生物樣品、含水樣品、含油樣品,既不需要脫水,也不必進行噴碳或金等導(dǎo)電處理,可在自然的狀態(tài)下直接觀察二次電子圖像并分析元素成分。還可分析生物樣品和非導(dǎo)電樣品(背散射和二次電子像)、分析液體樣品以及土20°C內(nèi)的固液相變過程觀察。
環(huán)境掃描電鏡的特點:
普通掃描電鏡的樣品室和鏡筒內(nèi)均為高真空(約為10ˆ-6個大氣壓),只能檢驗導(dǎo)電導(dǎo)熱或經(jīng)導(dǎo)電處理的干燥固體樣品。低真空掃描電鏡可直接檢驗非導(dǎo)電導(dǎo)熱樣品,無需進行處理,但是低真空狀態(tài)下只能獲得背散射電子像。環(huán)境掃描電鏡除具有以上兩種電鏡的所有功能外,
還具有以下幾個主要特點:
1、樣品室內(nèi)的氣壓可大于水在常溫下的飽和蒸汽壓;
2、環(huán)境狀態(tài)下可對二次電子成像;
3、觀察樣品的溶解、凝固、結(jié)晶等相變動態(tài)過程(在-20℃~+20℃范圍)。