FEI掃描電鏡將各種成像和分析模式與新的先進(jìn)自動(dòng)化相結(jié)合，為同類儀器提供最完整的解決方案。它非常適用于需要高分辨率，樣品靈活性和易于使用的操作界面的工業(yè)研發(fā)，質(zhì)量控制和故障分析應(yīng)用。
 

　　FEI掃描電鏡的性能特點(diǎn)：
 

　　1、出色的成像
 

　　多用戶實(shí)驗(yàn)室需要顯微鏡在短時(shí)間內(nèi)生成具有相關(guān)數(shù)據(jù)的高質(zhì)量圖像。PrismaE采用基于四極管組件的強(qiáng)大成像系統(tǒng)滿足了這一需求，可在各種光束能量和真空條件下提供出色的結(jié)果。在所有這些條件下，地形圖和成像圖都提供必要的樣本信息。通過同步采集，該信息可供隨后進(jìn)一步解釋和分析。
 

　　2、輕松導(dǎo)航
 

　　室內(nèi)導(dǎo)航相機(jī)提供樣品架的詳細(xì)照片，使其易于使用一個(gè)會(huì)話中的多個(gè)樣本并逐個(gè)導(dǎo)航到它們。在示例中，只需單擊它即可轉(zhuǎn)到感興趣的區(qū)域。導(dǎo)航凸輪圖像與樣本一起旋轉(zhuǎn)，因此導(dǎo)航非常直觀。
 

　　3、樣本靈活性
 

　　具有三種成像模式-高真空，低真空適用于任何SEM的*泛樣品。此外，腔室適合大樣品，并配備5軸電動(dòng)中心平臺(tái)，傾斜范圍為105°，可以從各個(gè)角度觀察樣品。
 

　　4、支持分析
 

　　分析室支持對元素和晶體學(xué)樣品數(shù)據(jù)的日益增長的需求，該分析室支持多個(gè)EDX檢測器以提高通量并消除陰影效應(yīng)。此外，分析室支持共面和平行光束WDS，以確保所有技術(shù)的最佳定位。得益于原位功能，即使在絕緣或高溫樣品上也能獲得可靠的分析結(jié)果。