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技術(shù)文章

可以實(shí)時(shí)檢測形貌與元素信息的“鎢燈絲掃描電鏡”

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  鎢燈絲掃描電鏡成像平臺即時(shí)可用。彩色圖像讓成分分布更直觀,實(shí)時(shí)定量能譜分析讓科研更高效,低電壓及電子束減速模式配合經(jīng)典的CBS探頭(同軸環(huán)狀背散射探頭)使不導(dǎo)電樣品也可以在不鍍金條件下呈現(xiàn)*的成像性能。低真空則可以在不鍍膜的情況下對不導(dǎo)電樣品進(jìn)行更真實(shí)的能譜元素分析。專為快速分析而設(shè)計(jì),智能型掃描電鏡,讓新手用戶也可以輕松操縱。
 
  鎢燈絲掃描電鏡將微區(qū)成分分析與電鏡成像集成在同一平臺上,快速提供所需微觀形貌及實(shí)時(shí)成分信息,幫助學(xué)術(shù)和工業(yè)用戶快速獲得全面、可靠的數(shù)據(jù),準(zhǔn)確執(zhí)行故障分析和缺陷檢測。通用型SEM系統(tǒng),可涵蓋多種類型樣品。可分析絕緣材料、處理大而重的樣品,同時(shí)能夠分析常規(guī)的小尺寸樣品。靈活性SEM系統(tǒng),支持各類功能附件。使用便捷,不依賴于用戶操作水平、能夠便捷提供元素或化學(xué)信息。高度自動(dòng)化,自動(dòng)對中技術(shù)確保系統(tǒng)始終處于最佳工作狀態(tài),用戶指南及撤銷功能幫助用戶更輕松操作系統(tǒng)。處理效率高,實(shí)時(shí)定量成分分析成像,更快獲得定量分析數(shù)據(jù)。
 
  鎢燈絲掃描電鏡可以完成實(shí)時(shí)成分信息,同步掃描獲取多種信號時(shí)執(zhí)行能譜分析,實(shí)時(shí)檢測形貌與元素信息;成像平臺即時(shí)可用,只需關(guān)注數(shù)據(jù)采集,不必憂慮電鏡條件設(shè)置;更快獲得數(shù)據(jù),多種成像和掃描策略,優(yōu)化圖像采集效果并提升系統(tǒng)處理能力;靈活的樣品臺設(shè)計(jì),全開門式設(shè)計(jì),大樣品可輕松加載到樣品倉內(nèi),*的成像性能,提供低真空模式和電子束減速模式用于消除荷電效應(yīng)。

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