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技術(shù)文章

掃描電鏡顯微鏡在不同行業(yè)中的應(yīng)用

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  由于掃描電鏡顯微鏡的高分辨率和大焦深,使得它可以對(duì)各種化學(xué)物質(zhì)進(jìn)行非常詳細(xì)的分析。它打破了傳統(tǒng)臺(tái)式掃描電鏡采用BSD探測(cè)器成像的局限性,利用創(chuàng)新的雙聚光鏡成像技術(shù),采用大型掃描電鏡成像方式,使用二次電子探測(cè)器作為基礎(chǔ)成像單元,從而,可以獲得更高的分辨率,是真正意義上的高分辨率臺(tái)式掃描電鏡。
 
  在檢查半導(dǎo)體和微電子器件時(shí),需要靈活選擇和使用操作參數(shù)(加速電壓、樣品傾斜、掃描線時(shí)間等)以及正確的分析程序,以獲得最大的信息。QFN器件中由濕熱環(huán)境(如吸濕)引起的界面裂紋很常見,會(huì)導(dǎo)致器件失效。掃描電鏡顯微鏡可以用來尋找任何裂縫。用戶可以看到這些裂縫位于界面的哪個(gè)連接處以及它們的擴(kuò)展方向。由于裂紋與界面強(qiáng)度有關(guān),因此裂紋信息可用于評(píng)估對(duì)QFN器件研究的實(shí)際意義。
 
  掃描電鏡顯微鏡通常在高真空狀態(tài)下工作。然而,在低真空中,可以觀察到未涂覆導(dǎo)電材料的樣品。在高真空下,充電效應(yīng)不可避免。通過在低真空下對(duì)樣品成像,減少了充電效應(yīng),圖像更加清晰。最初,為了查看整個(gè)樣本,用戶必須分別拍攝圖像并手動(dòng)合成。然而,利用掃描電鏡的全景拍攝,選定區(qū)域的多個(gè)圖像被自動(dòng)捕獲和組合。它標(biāo)準(zhǔn)配置的兩軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái),全自動(dòng)真空系統(tǒng),全自動(dòng)的電子光學(xué)調(diào)控系統(tǒng),可以讓用戶從開始到結(jié)束都可以用手指在觸摸屏上進(jìn)行操作。除了全自動(dòng)功能以外,掃描電鏡還提供給更加的用戶所有手動(dòng)調(diào)節(jié)功能,使得儀器幾乎具備大型機(jī)所有的調(diào)節(jié)功能,從而獲得更佳的圖像品質(zhì)。
 

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